在半导体生产工艺中,需要用到大量的切削液,其主要起到润滑、降温以及洗涤残留的悬浮微颗粒的作用。半导体生产工艺的特性决定了使用过的切削液具有浊度高、SS浓度高(主要以单晶硅粉末的形式出现)泥粉量大,沉淀困难等特点,且切削液的购置价格高,若无法处理回用则会大幅增加生产成本,处理不当还有可能污染环境。
我司的半导体再生回用设备在过滤时原料液从加热罐中由泵输送到SiC陶瓷膜组件后,由于膜的内外存在压差,溶解性的物质或粒径小于膜孔径的物质(或溶剂)透过膜进入下一步工序。大分子物质(或固体微粒) 被膜截留并被带出膜组件并回流到加热罐。这样循环工作,随着滤液不断流出,截留物的含量便越来越高,最终达到分离除杂的目的。切削液废液再生回用设备既可将废切削液处理达标后回收利用,也可将溶解性的物质或回收的废液浓缩减排,给客户带来双重经济效益。